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單晶車間事故應(yīng)急方案
一.供電公司計劃停電(檢修設(shè)施,計劃供電等)
針對以上情況,需要注意以下幾個方面: 1、供電公司必須提前二天通知公司配電負責(zé)人, 確定停電,送電的時間及停電的線路等;公司配電 負責(zé)人通過行政辦向相關(guān)部門發(fā)文通知; 2、單晶車間根據(jù)單晶爐的每爐拉晶時間,決定 各爐的停爐時間,在停電之前5小時必須停爐冷卻, 防止停電時爐體過熱。 3、停電時,相關(guān)部門安排人員仔細檢查電器, 供水系統(tǒng)是否正常,單晶車間對單晶爐進行維修保 養(yǎng)。
二.突發(fā)性停電
在正常生產(chǎn)過程中出現(xiàn)突然斷電,當(dāng)班組長首先保持冷靜, 做出正確指揮 1.班組長工作內(nèi)容: 發(fā)生斷電后立即前往一樓開啟備用電源(指定熟悉備用電源 的員工),在備用電源也無電時,立即啟動柴油發(fā)電機,啟 動后觀察發(fā)電機電壓380V穩(wěn)定后,合上送電開關(guān)。保證冷 卻水的正常供應(yīng)。 送水后指導(dǎo)輔助工協(xié)同操作工注意各爐臺水壓變化,水壓在 2.5-3.0,如有異常及時上報班長及相關(guān)部門。 在一樓送電的同時,組織現(xiàn)場搶救工作,各爐臺操作工處理 好自己的爐臺,檢查是否處理得當(dāng)。 等待來電的同時安排好崗位工作,操作看好爐內(nèi)變化記錄結(jié) 晶時間。
停電時采取的措施:
若爐子工作時,加熱部分停電:
1、在控制面板上點擊工序重置【此時 UPS自動供電給 籽晶馬達,坩堝馬達。在自動狀態(tài)下(在引晶之后):180S之 后,籽晶自動上升100mm,坩堝自動下降50mm。但是在 180S之內(nèi)退出自動或在手動狀態(tài)下則不會有以上動作! 使其轉(zhuǎn)換為手動狀態(tài),關(guān)閉所有轉(zhuǎn)動開關(guān),降低堝位50mm左 右,,使晶體脫離液面.加熱電源轉(zhuǎn)換為功率控制,然后將功率 調(diào)整至零。 2、如果斷電時間較短,液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分 鐘則重啟加熱電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面 如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進行回熔處理,如果大 于規(guī)定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引晶等工作。
控制電源斷電的處理方法:
1、控制電源斷電; 在控制面板上點擊工序重置,使其轉(zhuǎn)換為手動狀態(tài), 降堝位50mm左右,使晶體脫離液面. 2、如果控制電源無法恢復(fù)供電, 當(dāng)不能及時恢復(fù)通電時,則必須關(guān)閉 加熱器,關(guān)閉S/L、S/R 、C/L、C/R,提升晶棒脫離液面,升高坩堝 位置(液面結(jié)晶后半小時頂起熱屏),充氬氣至常壓自然冷卻。 3、控制電源恢復(fù)供電, 液面未結(jié)晶或已結(jié)晶且小于4分鐘則重啟加熱 電源,將功率慢慢的升至熔料功率融化結(jié)晶面,打開S/L、S/R 、C/L、 C/R,在打開S/R晶轉(zhuǎn) 和C/R堝轉(zhuǎn)之前確保S/R 和C/R電位器處于零位。 如果我們等徑長度大于規(guī)定的長度則按照一段標準取出,然后在進行引 晶等工作, 如果晶體長度小于我們規(guī)定的長度,則進行回熔處理
三.來電后班組長現(xiàn)場指揮工作:
a.電源恢復(fù)時,立即開真空泵,待半分鐘后開抽空閥門,將氬氣流量恢 復(fù)正常。 b.若時間較短(液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破),按加熱 功率開,將功率升至熔料功率。 c.若時間較短(液面未結(jié)晶或液面已結(jié)晶但小于10 分鐘且石英坩堝 未破),按加熱 功率開,將功率升至熔料功率。 d.熔化結(jié)晶面,在此期間應(yīng)密切注意硅料液面熔化情況,一旦發(fā)生硅 液面下降,立即停爐并上報管理人員。 e.晶體處理同晶變單晶一致,待結(jié)晶全熔后,手動調(diào)節(jié)功率為引晶功 率,溫度穩(wěn)定后,開始引晶作業(yè)。 f.若停電時間較長(液面結(jié)晶已經(jīng)大于10 分鐘或石英坩堝破裂),快 速提升晶體或 籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 g.在熔體結(jié)晶40分鐘時,快速提升坩堝,使坩堝頂起導(dǎo)流筒 100mm(堝內(nèi)原料不足30kg不必頂起)。停爐,充分冷卻后拆爐。
重點提示:如若顯示電腦控制面板和加熱部分電源一起出現(xiàn)斷電,操作員工應(yīng) 該頭腦冷靜,必須在2分鐘內(nèi)關(guān)閉爐臺 下部氬氣球閥,防止爐臺副室門自動沖 開,引起重大事故。
漏硅的應(yīng)急處理:
1.立即關(guān)閉功率。 2.退出控制柜面板上單晶生長控制器,使其處于手動狀態(tài)。 3.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 4.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 5.在熔體結(jié)晶40分鐘時,如有可能,快速提升坩堝,使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 6. 關(guān)閉真空泵抽氣蝶閥,防止硅液進入管道,開啟副室球 閥進行抽空,等液面結(jié)晶后再開啟主室蝶閥,關(guān)閉副室蝶閥。 7. 檢查各處電線是否緊靠著受熱抽空管道,防止引起電線明 火。 8.停爐,充分冷卻后拆爐。
重點提示:做好前幾步后,氬氣充到常壓的一半左右,使其自然冷卻,處理完成后去 爐臺下觀察坩堝軸波紋管是否破裂漏硅,真 空管道、波紋管邊上是否有電線緊挨住,有 無起火等安全隱患,其它地方也要仔細觀察, 如有異常及時做出處理。
停水事故(供水設(shè)備故障,水泵控制電路 故障,管路故障,水池缺水,停電)
發(fā)生停水時采取的措施: 發(fā)生停水時,立即打開停水爐子的事故水進水閥(一般為消 防水,)。 1.當(dāng)爐臺水壓不夠或完全停止的時候,爐臺會做出自我保護 措施停止加熱從而出現(xiàn)DC電源打火報警. 2.如果水壓不能及時恢復(fù),在等徑的爐臺立即將晶棒與液面脫 離,防止結(jié)晶.關(guān)閉晶轉(zhuǎn)鍋轉(zhuǎn). 3.加大氬氣流量,蝶閥全部打開,加速冷卻. 4.如果結(jié)晶時間超過15分鐘原料較多的爐臺將導(dǎo)流筒頂起, 石英坩堝不可頂?shù)酱笊w,防止硅料膨脹后把大蓋漲壞. 做好上續(xù)措施后水壓還未恢復(fù)的時候要仔細觀察爐臺。 停 水后水壓恢復(fù):
1.冷卻水恢復(fù)供應(yīng)時,關(guān)閉事故水閥門,監(jiān)控水壓,有異常立即報 告管理人員。 2.水壓恢復(fù)時,爐內(nèi)無氧化現(xiàn)象,熔體未結(jié)晶或已結(jié)晶但液面結(jié)晶 小于4分鐘且石英坩堝未破裂,按加熱功率開,調(diào)節(jié)功率到熔料功率。 3.啟動堝轉(zhuǎn),設(shè)定為1轉(zhuǎn)/分,打開堝轉(zhuǎn)前,確保堝轉(zhuǎn)電位器處于零 位。 4 .熔化結(jié)晶面,在此期間應(yīng)密切爐內(nèi)有無氧化現(xiàn)象,注意硅料液面 熔化情況,一旦發(fā)生氧化現(xiàn)象、硅液面下降,立即停爐并上報管理人員。 5.晶體處理同晶變單晶一致,待結(jié)晶全熔后,手動調(diào)節(jié)功率為引晶 功率,溫度穩(wěn)定后,開始引晶。 停水后水壓無法恢復(fù),或恢復(fù)時熔體已結(jié)晶大于4分鐘。 1.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 2.在熔體結(jié)晶40分鐘時,快速提升坩堝,使坩堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 3.停爐,充分冷卻后拆爐。
一.把停水的原因查清進行處理,同時向相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)(直屬上 級)和相關(guān)部門(設(shè)備部,安全辦)進行報告; 二.在事故發(fā)生時,安全員,外圍設(shè)備操作工,單晶班長和 單晶員工各司其責(zé),有條不紊的進行處理,不要造成不必要 的混亂; 三.一般停水事故會發(fā)生在以下幾個方面:一,水泵故障停 水(啟動備用水泵);二,水池缺水(關(guān)閉進水閥門,向進 水管道中補充應(yīng)急水;另一方面,向水池補充ao水,恢復(fù)正 常生產(chǎn));三,管道系統(tǒng)中出現(xiàn)泄漏;盡量堵漏等停爐后進 行維修; 四.事故解決后,要認真檢查水,電,氣等的各類參數(shù),確 定沒有問題,開始正常生產(chǎn);
石墨坩堝裂開時采取措施:
1.石墨坩堝裂開可觀察電壓電流表狀態(tài),是否有抖動現(xiàn)象。 2.有抖動現(xiàn)象說明與加熱器相擦,應(yīng)立即關(guān)閉功率。 3.退出控制柜面板上單晶生長自動控制器,使其處于手動 狀態(tài)。 4.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結(jié)晶40分鐘,如有可能,快速提升坩堝,使坩堝 頂起導(dǎo)流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐。
爐內(nèi)漏水或觀察窗玻璃裂開:
1.當(dāng)爐內(nèi)出現(xiàn)大量漏水或觀察窗玻璃裂開時,則立即關(guān)閉 功率。 2.關(guān)閉所漏部位的水源,關(guān)閉閥門及真空泵,對爐內(nèi)進行 充氬氣至50KPa左右,關(guān)閉氬氣。若觀察窗玻璃裂開時確認 爐內(nèi)未出現(xiàn)大量漏水可不關(guān)閉閥門及真空泵蝶閥但要隨時觀 察爐內(nèi)情況,以采取應(yīng)急措施。 3.退出自動控制柜面板上單晶生長控制器,使其處于手動 狀態(tài)。 4.關(guān)閉堝轉(zhuǎn)。 5.快速提升晶體或籽晶,使晶體或籽晶脫離液面150mm。 6.在熔體結(jié)晶40分鐘時,如有可能,快速提升坩堝,使坩 堝頂起導(dǎo)流筒100mm。 7.停爐,充分冷卻后拆爐
電器短路起火(用電負荷過大,接線松脫,電 器內(nèi)灰塵,雜物過多) ? 1.當(dāng)電器起火時,首先關(guān)閉控制電器的電源 總開關(guān), ? 2.如有明火時,用干粉滅火器撲滅, ? 3.按照實際情況進行修理或更換; ? 4.故障排除后,經(jīng)檢查無誤再恢復(fù)生產(chǎn);
工傷事故(一般車間工傷事故,酸洗車間工傷事故)
a. 1.一般車間發(fā)生工傷事故后,由當(dāng)班管理人員向安全員匯報,同時向直 屬上級領(lǐng)導(dǎo)進行匯報, 2.在等待安全員到達的同時,進行必要的施救; 3.如遇情況危急,可在安全員未到現(xiàn)場情況下,送患者去醫(yī)院搶救; 4.安全員到達現(xiàn)場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 5.在安全員了解事故情況時,相關(guān)人員必須如實回答,不得欺騙,隱瞞; 6.在事故沒有完全結(jié)束時,安全員要隨時關(guān)注事情的進展,并對相關(guān)人 員進行反饋; 7.當(dāng)事故結(jié)束后,安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會,對相關(guān)事 宜進行處理;
b.1.當(dāng)酸洗車間發(fā)生化學(xué)品以身體接觸造成事故,首先,立即 用大量清水沖洗患處 10-20分鐘,用毛巾擦干水漬,在患處涂上藥膏; 2.事故發(fā)生時,由當(dāng)班管理人員向安全員匯報,同時向直屬 上級領(lǐng)導(dǎo)進行匯報; 3. 在等待安全員到達的同時,進行必要的施救; 4. .如遇情況危急,可在安全員未到現(xiàn)場情況下,送患者去醫(yī) 院搶救; .5. 安全員到達現(xiàn)場處理時,所有人員必須聽從安全員的指揮; 6..在安全員了解事故情況時,相關(guān)人員必須如實回答,不得 欺騙,隱瞞; 7. 在事故沒有完全結(jié)束時,安全員要隨時關(guān)注事情的進展, 并對相關(guān)人員進行反饋 8. .當(dāng)事故結(jié)束后,安全員應(yīng)召集相關(guān)人員開安全事故鑒定會, 對相關(guān)事宜進行處理;
后語
其實在單晶車間出現(xiàn)事故并不可怕,可怕的 是班組長不懂得如何對事故進行應(yīng)急,以減 少事故本身帶來的損失。因此對車間班組長事故應(yīng)急指揮,車間操作 員工的安全應(yīng)急預(yù)案培訓(xùn)必須嚴格落實,每 周必須培訓(xùn),每月進行現(xiàn)場應(yīng)急操作考核。
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